塵埃粒子檢測(cè)儀器是用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗(yàn)所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。

　　塵埃粒子檢測(cè)儀器的測(cè)試程序：

　　1.確定采樣點(diǎn)的位置及數(shù)量，采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作面高度。

　　2.確定單次最小采樣量與取樣時(shí)間。每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量應(yīng)至少為2L，采樣時(shí)間應(yīng)至少為1min，當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有1個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時(shí)間1分鐘時(shí)，能滿足測(cè)試要求。

　　3.粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭不得直接置于送風(fēng)口整下方。當(dāng)測(cè)單向流設(shè)施的潔凈度時(shí)，采樣頭應(yīng)對(duì)準(zhǔn)氣流;當(dāng)測(cè)非單向流時(shí)，采樣探頭一律朝上。

　　4.室內(nèi)測(cè)試人員應(yīng)穿潔凈服，不得超過(guò)3人，測(cè)試人員應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)，動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。

　　5.當(dāng)采樣點(diǎn)只有1個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不計(jì)算95%置信上限;當(dāng)采樣點(diǎn)為1個(gè)以上10個(gè)以下時(shí)，除應(yīng)計(jì)算各采樣點(diǎn)的平均值和總平均值外，還應(yīng)計(jì)算計(jì)算95%置信上限。

　　6.每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得粒子濃度的平均值以及潔凈室總平均值95置信上限均未超過(guò)空氣潔凈度等級(jí)的濃度限值時(shí)，可認(rèn)為該潔凈室(區(qū))已達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。

　　塵埃粒子檢測(cè)儀器是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。